EXYTE模塊化環境艙MEC

創新

、敏感的生產工藝、不bu斷duan提ti高gao的de質zhi量liang標biao準zhun以yi及ji研yan發fa領ling域yu的de快kuai速su發fa展zhan
，對dui半ban導dao體ti和he光guang學xue行xing業ye以yi及ji納na米mi技ji術shu和he微wei機ji械xie行xing業ye的de生sheng產chan和he研yan發fa環huan境jing提ti出chu了le日ri益yi嚴yan峻jun的de挑tiao戰zhan。很hen低di的de溫wen度du和he濕shi度du公gong差cha

、氣體和微粒汙染的潔淨度以及對客戶工藝的聲學、振動和電磁影響的屏蔽是實現生產工藝的核心因素。

穩定和可重現的工藝環境

顆粒和化學汙染物的沉積

準確的溫度控製

聲屏蔽

產地：德國

空氣流量：2.95 m³/h

空氣溫度：22 °C

溫度穩定性：± 5 mK 至 ± 1 mK

濕度：33 % r.H.

濕度穩定性：± 0.3 % r.H.

聲屏蔽：100 < f < 5000 Hz： -15 dB

磁屏蔽：10 < f < 200 Hz： -30 dB

潔淨度：高

氣體和微粒汙染度：低

半導體、光學行業、微機械行業等