ENTEGRIS分配係統MaxMT

MaxMT 化學物質分配係統是很大限度提高化學物質利用率的創新解決方案，是 Entegris 下一代 ND-CD 連接器產品的代表。該分配係統由一個控製盒和兩個連接器組成，具有 A-B 切換

、頂空氣體清除和空檢測功能。使用一個控製箱和兩個連接器能大限度地提高化學品利用率。

控製箱
，提供一個用戶界麵

，其中包含有效操作係統和控製分配過程的邏輯

帶空檢測技術的兩個連接器
，便於從罐中分配化學品，包括在分配化學品前清除頂空氣體和檢測空狀態的技術

自動 A-B 切換
，有助於降低運行成本

化學品分配係統設計
，可很大限度地利用化學品
，減少氣泡缺陷

控製箱：提供用戶界麵，其中包含有效操作係統和控製分配過程的邏輯

連接器：兩個，帶空檢測技術

EDA-B：MaxMT 連接器支架

EDA-D：用於 MaxMT 係統連接器的氣體清潔夾具

EDA-E：用於 MaxMT 係統連接器的溶劑清潔夾具

EDA-G：進出延長電纜套件

ND-ED-CB-2：MaxMT 控製箱

ND-ED-CN-2：MaxMT 分配連接器

ND-ED-S-2：MaxMT 化學物質分配係統

PA-06：探頭O型環，Kalrez

，2個

PA-08：保持器 O 形圈

，三元乙丙橡膠，10 個

產地：美國

電源：24 V直流，Min 1 A服務

壓力：551.6 kPa（80 psig），要求高純度硝化甘油（5.0 級或以上）

電源：24 VDC，3 線母電源電纜，帶用於客戶接口的鬆散引線

用於工具接口的空檢測信號：3 線製 6 觸點公連接器

氮氣供應：直徑為 8 mm的管接頭（不包括氮氣供應管）

結構材料：非浸濕

外殼：不鏽鋼

窗口：聚四氟乙烯塗層聚碳酸酯

啟動和停止按鈕、開/關開關、緊急停止 (EMO) 按鈕：聚酯

標簽：鋁

空氣接頭：不鏽鋼

空檢測信號電纜：聚丙烯

電源線：聚丙烯

排氣消聲器：聚乙烯、聚縮醛

控製盒與連接器之間的管路/電線距離：1.8 m（6 英尺）

重量：10.6 kg（23.3 磅）

螺紋類型：2-1/4 ACME 雙啟動

Max工作壓力：103.4 kPa（15 psig）（美國境內）；206.8 kPa（30 psig）（美國境外）

連接器泄壓閥：241.3 kPa（35 psig）標稱開啟壓力

流體溫度：25 °C (77 °F)

光阻/色阻、用於微電子應用的低粘度材料、其他液體材料塗層市場、該係統與生產工具集成，設計用於 10 至 40 升 NOWPak 內襯罐係統和蓋子