ENTEGRIS濃度監測儀CPAAALAXX8F8F

用於在線液體化學品應用的過程監控。InVue CR288 濃度監測儀配有 288-connect 軟件包，可為使用點的化學品/混合物混合、添加和稀釋提供實時信息，而不會造成過程幹擾或中斷。基於 PC 的圖形用戶界麵和 LCD 顯示屏集成了數據采集、分析和現場校準功能，並提供方便

、可擴展的數據接口和采集選項。光學係統可計算實時濃度和溫度補償數據
，從而提高生產率。InVue CR288 濃度監測儀通過了 USP VI 級標準認證

，可平穩集成到生物過程中進行在線濃度監測。

通過折射率 (IoR)，這款高性價比

、高性能的濃度監測器可提高工藝效率，用於監測 BEOL、FEOL 和子工廠化學品混合和輸送係統。

隨附的 288-connect 用戶軟件可在幾分鍾內完成現場校準，從而降低擁有成本、DDU、GUI和軟件簡化編程和使用

設備占地麵積小
，可直接與工藝化學品輕鬆安裝在一起

小型化傳感器，分析係統的敏捷封裝
，實現定製和設計靈活性

比其他技術更快地實現準確性

即使使用非導電流體
，也能準確重複地測量濃度

輕鬆集成到新工具或現有工具中

傳感器沒有耗材，更換零件更少意味著硬件維護少

產地：美國

流動池材質：聚四氟乙烯

光學窗口材質：半導體級藍寶石

電纜和帽蓋材質：聚丙烯 (PP)

電纜和閥蓋材質：聚丙烯 (PP)

流體壓力額定值：0 至 5.5 巴（0 至 80 psig）

額定流體溫度：5 至 50 °C (41 至 122 °F)

工藝流體折射率範圍：1.28000 至 1.40000

DDU 運行參數

電源要求：24 V (DC) ± 5 %
，Min 0.5 A

附帶電源輸入要求：110/ 240 VAC
，50/ 60 ± 3 Hz

串行端口：RS-232

模擬輸出：4-20 mA

電氣連接器：符合 IP67 標準，12 極，1 A，麵板安裝型

工作環境：室溫 - 25 ± 5 °C (77 ± 9 °F)

機器接口：4-20 mA RS-232：模擬，可擴展分辨率 數字串行接口

軟件：基於 Windows 的界麵，用於用戶設置、校準
、監控和記錄多達四個傳感器的數據。係統要求 Windows 98 或更高版本
、128+MB 內存
、CD-ROM。

濕化學應用、BEOL 和 FEOL 清潔
、化學機械平坦化 (CMP)、電鍍、光刻