ENTEGRIS噴點係統IGULVPVAP1

新的兩級噴點係統可實現對低粘度流體的噴點和過濾。IntelliGen ULV 噴點係統以兩級噴點技術的成熟性能為基礎，結合 Entegris 創新的 Connectology 過濾器設計
，將高純度過濾與低粘度流體（1 - 100 cP 或噴點壓力不超過 29 psi 時的更高粘度）的de可ke重zhong複fu噴pen點dian融rong為wei一yi體ti。可ke選xuan的de後hou清qing潔jie技ji術shu提ti供gong了le一yi個ge消xiao毒du係xi統tong，可ke在zai光guang刻ke塗tu層ceng過guo程cheng中zhong將jiang更geng均jun勻yun的de光guang化hua學xue形xing貌mao分fen配pei到dao晶jing片pian上shang。它ta還hai有you助zhu於yu縮suo短duan啟qi動dong時shi間jian並bing提ti供gong智zhi能neng分fen配pei診zhen斷duan。兼jian容rong的de Impact 8G 或 Impact 2 V2（OF 型）過濾器可輕鬆滑入 IntelliGen ULV 係統。流體以設定截留率的流速通過 Impact 過濾器，從而提高產量並延長正常運行時間。集成的雙壓力傳感器可提供實時警報
，並通過提供多種確認功能（包括分配確認、周期時間確認和 delta P 確認）來(lai)增(zeng)強(qiang)過(guo)濾(lv)器(qi)填(tian)料(liao)功(gong)能(neng)。這(zhe)有(you)助(zhu)於(yu)防(fang)止(zhi)因(yin)塗(tu)層(ceng)問(wen)題(ti)造(zao)成(cheng)代(dai)價(jia)高(gao)昂(ang)的(de)晶(jing)片(pian)缺(que)陷(xian)，以(yi)及(ji)在(zai)較(jiao)低(di)的(de)就(jiu)緒(xu)壓(ya)力(li)水(shui)平(ping)下(xia)因(yin)反(fan)衝(chong)問(wen)題(ti)引(yin)發(fa)的(de)隨(sui)機(ji)直(zhi)流(liu)錯(cuo)誤(wu)。新(xin)型(xing)空(kong)氣(qi)檢(jian)測(ce)功(gong)能(neng)可(ke)準(zhun)確(que)定(ding)位(wei)空(kong)氣(qi)從(cong)泄(xie)漏(lou)處(chu)進(jin)入(ru)出(chu)口(kou)管(guan)道(dao)的(de)時(shi)間(jian)，或(huo)從(cong)隨(sui)著(zhe)時(shi)間(jian)推(tui)移(yi)逐(zhu)漸(jian)積(ji)累(lei)的(de)微(wei)小(xiao)氣(qi)泡(pao)進(jin)入(ru)出(chu)口(kou)管(guan)道(dao)的(de)時(shi)間(jian)。IntelliGen ULV 噴點係統設計緊湊、性能好
、具有交互式診斷功能，是低粘度光刻膠應用的適配選擇，可確保噴點的可重複性、更長的過濾器使用壽命和更高的回報率。

分配 1 - 100 cP 的低粘度流體
，或在分配壓力不超過 29 psig 時分配更高粘度的流體

可靠分配低粘度流體（1-100 cP），同時不影響過濾性能

新的用戶友好型 MMI 軟件簡化了配方編程並提供實時狀態

實時可靠的確認工具有助於很大限度地減少代價高昂的晶片缺陷

優化的流體流動路徑可提高化學品周轉率並減少死體積

改進的分配功能可防止電機反衝
，使分配更加一致

提供可選的後清潔程序
，有助於更快地啟動晶圓運行

產地：美國

體積：0.01 - 10.0 mL，增量為 0.001 mL

速度：0.01 - 3.0 mL/s
，增量為 0.001 mL/s

重複性：≤ 0.02 mL 3 sigma

粘度範圍：1 - 100 cP

Max分配設計壓力：0.21 兆帕（30 psi）

充氣速率、過濾速率、排氣速率、吹掃速率：0.1 - 3.0 mL/s，增量為 0.001 mL/s

排氣頻率：自動排氣或 1 - 10,000 次分配循環

潤濕表麵：改性聚四氟乙烯（PTFE）、聚四氟乙烯（PTFE）、Kalrez 材料

連接類型：插入式、Super Type Pillar 或 Flowell 60 係列

過濾器：Impact 8G 或 Impact 2 V2（OF 型）

入口
、出口和排氣管尺寸：

外徑：6.35 mm（0.25 英寸）或 6.0 mm（0.24 英寸）

內徑：3.97 mm（0.15628 英寸）或 4.0 mm（0.16 英寸）

入口氣體類型：調節 N₂

Min工作氣壓：0.26 兆帕（38 psi）

Max工作氣壓：0.28 兆帕（40 psi）

氣動泄漏壓力：0.30 兆帕（43 psi）

真空：-68 千帕（Min 20 英寸 -Hg）

尺寸（高×寬×深）：200.1×60.7×216.5 mm（7.878×2.39×8.52 英寸）

重量 約：5 千克（11 磅）

額定電流：Max 1.25 A

輸入電壓（係統）：24 VDC ±10 %

串行通信：規格取決於使用的接口模塊

並行通信：觸發和確認

環境：室內使用

海拔：低於 2000 米（2187.22 碼）

環境溫度：5 至 40 °C (41 至 104 °F)

Max相對濕度：80 %（31 °C；88 °F）；50 %（40 °C；104 °F）

主電源波動範圍：22 - 26 VDC

瞬態過電壓類別：II

汙染等級：2

超低粘度（1-100 cP）使用點光化學噴點