ENTEGRIS溶氧傳感器DPAAAHEA24W

光學監控解決方案

，用於檢測和監控化學鍍應用中的低溶解氧水平 。化(hua)學(xue)電(dian)鍍(du)工(gong)具(ju)和(he)電(dian)鍍(du)槽(cao)中(zhong)溶(rong)解(jie)氧(yang)的(de)存(cun)在(zai)給(gei)工(gong)藝(yi)化(hua)學(xue)帶(dai)來(lai)了(le)巨(ju)大(da)挑(tiao)戰(zhan)。不(bu)受(shou)控(kong)製(zhi)的(de)溶(rong)解(jie)氧(yang)水(shui)平(ping)會(hui)導(dao)致(zhi)反(fan)應(ying)率(lv)降(jiang)低(di)和(he)觸(chu)點(dian)腐(fu)蝕(shi)加(jia)劇(ju)。為(wei)了(le)滿(man)足(zu)這(zhe)一(yi)重(zhong)要(yao)的(de)工(gong)藝(yi)要(yao)求(qiu)
，我們推出了 InVue 溶氧傳感器，這是一種新型的
、基於光學的高靈敏度發光體（傳感器），專門針對高純度

、腐蝕性化學鍍工具和鍍液應用。

利用成熟的發光和檢測技術，InVue 溶解氧傳感器能持續測量溶解氧水平，並將對化學電鍍應用的幹擾降低。InVue 傳感器在 PTFE waikezhongshiyongqingjiedeguishuzhishimo
，kejiancejinshuhuoxingdianduhuaxuefanyingzhongderongjieyangshuiping。zhekeyitigaogongyichanliang
，yanchanggongjuhegongyihuaxuejideshiyongshouming，bingjiangdiyunyingchengben。InVue 傳感器還有可能為下一代 20 nm以下的前端生產線 (FEOL) 和後端生產線 (BEOL) 提供類似的優勢。

高靈敏度溶氧發光體

數字報警輸出，可在發光體壽命結束時提前顯示

連續模式操作

用於校準的 GUI 軟件

不消耗氧氣

兩個模擬輸出

濃度：快速響應，可進行準確的濃度監測

溫度：集成溫度監測和實時補償功能

結構緊湊，安裝空間有限

二次密封設計，提高保障性

直通流道

產地：美國

流體部件本體材質：聚四氟乙烯

發光體材質：矽橡膠

O 形圈材質：Perfrez PXC Ultra

非浸濕部件材質：聚丙烯、PVDF、Santoprene 護套電纜
、Viton
、塗層 SST 緊固件

工藝溫度：15 至 60 °C（59 至 140 °F）

工作壓力：0 至 276 kPa (0 至 40 psig)

範圍：0.02 至 10 ppm，15 °C (59 °F)

濃度分辨率：± 0.015 ppm

電氣輸入：24 VDC

電氣輸出：兩個 0 至 5 V 輸出，一個用於濃度輸出，一個用於溫度輸出
；單個數字輸出
，報警時從高電平 (5 V) 切換到低電平 (0 V)

可連續測量以下應用中的溶氧水平：光刻化學鍍

、金屬反應電鍍化學