SWAGELOK熱浸式隔膜閥DH

DH 係列熱浸式隔膜閥專為需要將閥門完全包含在高溫
、高純度環境中的應用而設計
，例如原子層沉積 (ALD) 和前體輸送應用。其完全包含的高純度級 PFA 閥座提供了廣泛的化學兼容性以及抗膨脹和抗汙染性。體內完全掃過的流路減少了截留麵積並提高了流動能力。高達 0.60 的流量係數
、各種 1/4 和 3/8 英寸的端接，以及氣動和手動驅動模型——常閉執行器能夠使閥門打開或關閉時間小於 5 毫秒——可用於 滿足廣泛的係統需求。該閥門設計用於在 220°C (428°F) 下實現良好性能。

使用連續監測的去離子水超聲波清洗係統進行高純度清洗

在 ISO 4 級工作區域執行； 閥門采用雙層袋裝，真空密封在潔淨室袋中

潤濕表麵粗糙度 (Ra)：電拋光並精加工至平均 5 µin。 (0.13 微米)