BOC EDWARDS真空隔離閥VIV25EKA
VIV 真空隔離閥旨在與 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 幹式初級泵一起使用，是一種高電導、快速作用的高真空隔離閥，旨在防止蒸汽或顆粒從前級泵移動到工藝室 . 當 VIV 關閉時，前級泵排氣...
- 品牌：BOC EDWARDS
- 型號：VIV25EKA
- 下載： BOC EDWARDS-真空隔離閥-VIV25EKA.pdf
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產品介紹
VIV 真空隔離閥旨在與 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 幹式初級泵一起使用，是一種高電導、快速作用的高真空隔離閥，旨在防止蒸汽或顆粒從前級泵移動到工藝室 . 當 VIV 關閉時，前級泵排氣。 當泵停止或停止時，VIV 可保護工藝室不被通風。 當前級泵重新啟動時，閥門將在 VIV 內的壓力下降時緩慢打開，從而大限度地減少任何壓力爆裂的影響。
性能特點
- VIV 閥具有高傳導性
- 快速關閉動作
- 斷電保護
- 靈活的安裝選項
- 不限製主泵性能
- 防止蒸汽或微粒從前級泵遷移到工藝室
- 防止電源故障時工藝室排氣
技術參數
- 關閉壓差:>200 mbar
- 開啟壓差:<200 mbar
- 開啟開關時間:<15s
- 用於合閘切換時間:<0.1s
- 響應時間切換時間:<0.05s
- 機身材質:鋁
- 密封材料:氟橡膠
津公網安備12010102000946號
